[发明专利]一种空间光调制器中心与相机中心空间位置的标定方法

摘要

本发明公开了一种空间光调制器中心与相机中心空间相对位置的标定方法，通过成像系统，由CCD相机实时采集基底上的标记图形，通过人工智能识别技术检测标记图形，获取标记图形的中心位置坐标，通过计算得到标记图形中心与相机中心的相对位置，从而达到标定目的。本发明为空间光调制器中心与相机中心相对位置偏差而导致的实际曝光位置与正确曝光位置的偏差提供一种标定方法，以提高光学无掩模曝光系统中曝光位置的精度。

主权项

一种无掩膜光刻系统的空间光调制器中心与相机中心空间相对位置的标定方法，包括投影模块，投影模块包含曝光光源、空间光调制器、安装于移动平台上的基底，曝光光源、空间光调制器之间安装有光学集光系统；电机控制移动平台三维移动，其特征在于：空间光调制器与基底之间设有倾斜的分束器与透镜，分束器的反射光进入成像模块中的CCD相机，CCD相机外接人工智能模块和计算机；标定方法包括以下步骤：1）曝光光源发出的光经过光学集光系统，将定位标记图形投影至空间光调制器上，使得定位标记的中心与空间光调制器中心重合，经空间光调制器反射后，经过分束器及透镜，投影至基底表面成像；2）投射基底上的反射光经过所述分束器反射后，被CCD相机接收，并由CCD相机实时采集基底上定位标记图形的信息传输至计算机；3）计算机所采集的定位标记图形，以相机的坐标系为基准，利用人工智能模块计算定位标记中心与相机中心的偏差△x，△y；4）通过移动移动平台或改变空间上光分布的振幅、强度、相位的方法来补偿空间光调制器中心与相机中心的位置偏差，使得CCD相机接收到的定位标记中心与相机中心重合。