[发明专利]独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜

摘要

本发明是独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜。其系统主要包含入口端、传动机构、抽真空腔、P.I.N型制程腔、出口端。每个腔体有传动轮轴及真空Pump，制程腔内有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极。本发明传动机构传片设置在入口端及出口端，其本体为一平台，传动机构传片上有线性马达及履带片。将平台利用线性马达及履带片作动作，此发明让平台照顺序对台车上的玻璃进行取片，接着平台上滚轮将平台移到台车内，平台作升降动作，将玻璃顶起置在平台上，接着平台回流至传动机构，平台用滚轮将玻璃传入到抽真空腔，随后抽真空及进行P.I.N型制程，完成制程后，以相反方向完成动作。如此可提高镀膜完整度，不易让玻璃受到脏污及损伤，可提高太阳能硅薄膜效率。

主权项

一种独特传动机构传片技术进行硅薄膜镀膜，其系统主要包含入口端、入口端传动机构、抽真空腔、P.I.N型半导体制程腔、出口端，在每个腔体内都设有传动轮轴及真空Pump，且制程腔内则有加热装置、Showerhead气流孔与RF电极，以进行制程；而本发明传动机构传片，则是设置在入口端及出口端处，其主要本体为一平台，在传动机构传片上设有线性马达及履带片，可以让平台可以作上升及下降工作，另外在平台上也设有滚轮轴承，此滚轮轴承可以将玻璃从台车取片出来放置于平台上；因此其发明是将平台利用线性马达及履带片作上升及下降动作，此发明可以让平台可以照顺序对台车上的玻璃进行取片，而不会造成平台撞到玻璃的可能，接着平台上的滚轮会将平台平移到台车上，然后使平台作升降动作，将玻璃顶起，并放置在平台上，接着平台会回流至传动机构上，平台上升至适当位置可以用滚轮方式将玻璃传入到抽真空腔内，随后抽真空及进行P.I.N型半导体制程，当完成制程后，其玻璃会再利用滚轮传到出口端并放置于平台上，接着平台同样利用履带升降，降到可以将玻璃移到台车位置，随后滚轮轴承将平台伸出至台车内部，并将玻璃放置于台车上，随后平台再回到传动机构上，即完成此动作；如此可以提高膜层镀膜完整度，且不易让玻璃受到脏污及损伤，可以提高太阳能硅薄膜效率。