[发明专利]一种银合金溅射靶的制造方法有效
| 申请号： | 201110280482.7 | 申请日： | 2011-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN102337506A | 公开（公告）日： | 2012-02-01 |
| 发明（设计）人： | 肖世文;马敬山;黄德燕 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/00;C22C1/02;C22C1/06 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 黄为 |
| 地址： | 510880 广东省广州市花都区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种银合金溅射靶的制造方法，通过严格控制配料比例和投料顺序，并在熔炼和精炼过程中严格控制各合金组元的熔炼温度和熔炼时间获得了可以取代现有技术中的银靶材的合金靶材，并能克服银靶材所存在的技术缺陷。即，通过对不同组分的合金配合不同的熔炼温度和熔炼时间，使获得的合金溅射靶材具有优异的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种银合金溅射靶的制造方法，其特征在于：步骤一、配料：根据熔炉容量，按照合金成分百分比计算出各合金组元的投入重量，各组元按照质量百分比计算；Zr为0.3‑2.5％、Re为0.02‑1％、Ag为0.05‑0.5％，余量为Al；步骤二、投料：投料顺序Al、AlZr合金、AlAg合金、AlRe合金；步骤三、熔炼：熔炼温度分别为Al 680‑710℃，AlZr合金700‑740℃，AlAg合金740℃，AlRe合金700‑730℃，其中熔炼时间为：Al 10‑60分钟，AlZr合金10‑15分钟，AlAg合金15‑20分钟，AlRe合金5‑10分钟；步骤四、精炼：将精炼剂通过纯石墨管由氩气送入炉底，充分搅拌，除气，扒渣，静置10分钟；步骤五、铸造：使用铸铁或者铸钢金属模具，进行浇铸挤压成型；步骤六、热处理：300‑420℃均匀化退火2小时。
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