[发明专利]压电装置及压电装置的制造方法

摘要

本发明提供不受相邻的压电装置的影响，能够对形成于晶片上的多个压电装置的频率进行测定并调整的压电装置及压电装置的制造方法。压电装置(100)具备：具有形成在两主面的一对励振电极及从一对励振电极引出的一对引出电极的压电振动片(10)；以及具有形成在压电振动片一侧的第1面并与一对引出电极连接的一对连接电极及形成在第1面的相反侧的第2面的两对实装端子，并且从上第1面观察具有四个边的四边形的底部(12)。在底部的相互对向的两边上形成向底部的中心侧洼进的两对侧槽(122a～122d)及在两对侧槽上连结第1面和第2面的两对侧面电极。另外，两对侧面电极中的一对分别与一对连接电极及两对实装端子中的一对连接。

主权项

一种压电装置，其特征在于，具备：具有形成在两主面的一对励振电极以及从所述一对励振电极引出的一对引出电极的压电振动片；以及具有形成在所述压电振动片一侧的第1面并与所述一对引出电极连接的一对连接电极以及形成在所述第1面的相反侧的第2面的两对实装端子，并且从上所述第1面观察具有四个边的四边形的底部，在所述底部的相互对向的两边上形成向所述底部的中心侧洼进的两对侧槽以及在所述两对侧槽上连结所述第1面和所述第2面的两对侧面电极，所述两对侧面电极中的一对分别与所述一对连接电极以及所述两对实装端子中的一对连接。