[发明专利]用于真空镀膜设备的多功能基片架无效
| 申请号： | 201110283620.7 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102330065A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王济洲;熊玉卿;王多书;陈焘;董茂进;王超;李晨;张玲 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 甘肃省知识产权事务中心 62100 | 代理人： | 李琪 |
| 地址： | 730000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜设备的多功能基片架，包括安装盘和至少两根安装条，安装盘上平行设置有两条长条形的滑槽，安装条上加工有两个安装孔，两个安装孔的中心距与两条滑槽的中心距相等。本发明基片架能够满足真空镀膜中光学薄膜以及其他真空镀膜设备中对不同尺寸和形状的基片的镀膜安装要求。通过本发明能够大大减少真空镀膜中基片架设计加工的浪费，缩短不同产品的研制周期等等，并能实现批量镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 设备 多功能 基片架 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜设备的多功能基片架，其特征在于，该基片架包括安装盘（1）和至少两根安装条（3），安装盘（1）上平行设置有两条长条形的滑槽（2），安装条（3）上加工有两个安装孔（8），两个安装孔（8）的中心距与两条滑槽（2）的中心距相等。
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