[发明专利]一种制作太阳能电池的扩散方法

摘要

本发明公开了一种制作太阳能电池的扩散方法，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，将扩散炉的温度升高至第一设定温度；在第一设定温度下，向扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在硅片表面进行磷源扩散；将扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至硅片内部；降低扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片。该扩散方法能提高扩散薄膜层电阻的均匀性，提高太阳能电池的转换效率，进而提高太阳能电池的性能。

主权项

一种制作太阳能电池的扩散方法，其特征在于，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，将所述扩散炉的温度升高至第一设定温度；在所述第一设定温度下，向所述扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在所述硅片表面进行磷源扩散；将所述扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度，在温度升高的过程中向所述扩散炉中通入氧气和氮气，进行推结，使磷原子扩散至所述硅片内部；降低所述扩散炉的温度，完成扩散过程，取出制结后的硅片。