[发明专利]微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器及制备方法有效
| 申请号： | 201110283705.5 | 申请日： | 2011-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN102375090A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | 廖小平;刘合超;张志强 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R21/02 | 分类号： | G01R21/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 张惠忠 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器，由一个耦合度可变的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器和一个直接加热式MEMS微波功率检测器构成。该结构以砷化镓为衬底，在耦合器中包含有MEMS悬臂梁开关结构，通过驱动电极的控制，悬臂梁开关将处于DOWN或UP状态，分别使输入微波功率以不同的比例耦合至热电偶上；由耦合输出的微波功率被热电偶直接吸收，并将电磁能量转化为热量，使得另一端的热电偶在输出压焊块上以恒定电势差的形式输出，该恒定电势差即对应了由耦合输出端得到的微波功率的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 悬臂梁 开关 在线 式微 功率 检测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器，其特征在于：该结构包括砷化镓衬底（24），由微带线构成的主线（5），副线（6），耦合传输线（7），MEMS悬臂梁（12），MEMS悬臂梁的锚区（13），驱动电极（15），压焊块（17），输出压焊块（22），空气桥（18），引线（16）半导体热偶臂（20），金属热偶臂（21）。
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