[发明专利]一种透明单平面单极性数字微流体芯片及其控制方法

摘要

本发明属于微电子生物芯片技术领域，具体为一种透明单平面单极性数字微流体芯片及其控制方法。数字微流体芯片的结构从下至上依次为透明玻璃基板、第一电极阵列、硅绝缘层、第二电极阵列、表面绝缘层和疏水层。本发明采用透明材料和双层电极阵列，并采用单平面单极性电压的液滴控制方法，仅通过一块单极性的极板即可对液滴进行控制，并能够很好的保持液滴的球型表面，对于生物样本的光学检测，可保持良好的聚光特性。本发明大大拓展了在光学检测方面的应用范围。

主权项

一种透明单平面单极性数字微流体芯片，其特征在于：具体结构从下至上依次为透明玻璃基板；覆盖在所述透明玻璃基板表面的且相互平行放置的第一电极阵列；在所述第一电极阵列表面通过淀积的方法覆盖有一层透明的氮化硅或氧化硅绝缘层，以实现电学的隔离；在所述绝缘层的表面淀积有相互平行放置的第二电极阵列，第二电极阵列与第一电极阵列相互垂直；在所述第二电极阵列上淀积有一层表面绝缘层，该表面绝缘层由透明的金属氧化物或氮化硅或氧化硅构成，用以实现被控制液滴与控制电极的电学绝缘；在表面绝缘层的表面覆盖有一层疏水层，用以减小液滴运动时的阻力及电极控制电压。