[发明专利]洁净间用气流组织测试方法及装置系统无效
| 申请号： | 201110289975.7 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102650604A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 李丽;金万石 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20;G01P5/10;G01P13/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种洁净间用气流组织测试方法及装置系统，为解决现有可视化测试方法精度差等缺陷而设计。本发明洁净间用气流组织测试方法用热成像设备探测样品气体在洁净间形成样品气流，所述样品气体为与环境气体存在温差的液氮、干冰或水蒸汽等气体。本发明洁净间用气流组织测试装置系统包括样品气体发生器和热成像设备，热成像设备能连续探测样品气体的空间位置并显示在显示器上。本发明洁净间用气流组织测试方法测试结果更加准确，避免给洁净间带入污染；探测设备技术成熟，测试精度高。本发明洁净间用气流组织测试装置系统是用样品气体发生器和温度探测装置，提高了探测精度，扩大了探测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净 气流组织 测试 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种洁净间用气流组织测试方法，其特征在于，用热成像设备探测样品气体在洁净间形成的样品气流，所述样品气体为与环境气体存在温差的气体。
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