[发明专利]一种铜锌锡硒薄膜的制备方法无效

专利信息
申请号: 201110290893.4 申请日: 2011-09-29
公开(公告)号: CN102618853A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 刘科高;纪念静;孙齐磊;石磊;许斌 申请(专利权)人: 山东建筑大学
主分类号: C23C18/16 分类号: C23C18/16;B05C11/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 250101 山东省*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种铜锌锡硒薄膜的制备方法,属于光电薄膜制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗基片,然后将ZnCl2、SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O、SeO2放入溶剂中,并调整pH值,用旋涂法在基片上得到前驱体薄膜,烘干,放入有水合联氨的可密闭容器中,使前驱体薄膜样品不与联氨接触,最后进行干燥,得到铜锌锡硒光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所的铜锌锡硒光电薄膜有较好的连续性和均匀性,为制备高性能的铜锌锡硒光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的制备方法。
搜索关键词: 一种 铜锌锡硒 薄膜 制备 方法
【主权项】:
一种铜锌锡硒薄膜的制备方法,包括如下顺序的步骤:a.基片的清洗;b.将ZnCl2、SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O、SeO2放入40~130份的溶剂中,使溶液中的物质充分溶解,并调整pH值至3~10;c.制作外部均匀涂抹步骤b所述溶液的基片,并烘干,得到前驱体薄膜样品;d.将步骤c所得前驱体薄膜样品置于支架上,放入有水合联氨的可密闭容器,使前驱体薄膜样品不与联氨接触;e.将步骤d所得物,进行干燥,得到铜锌锡硒薄膜。
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