[发明专利]多弧离子镀膜装置有效
| 申请号： | 201110292907.6 | 申请日： | 2011-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN103031525B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 展亚男 | 申请（专利权）人： | 南通大富服饰有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙)11357 | 代理人： | 魏忠晖 |
| 地址： | 226200 江苏省南通市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种多弧离子镀膜装置，其包括一反应室、设置于反应室的腔体顶壁的至少一靶材及设置于反应室的腔体底壁的一装载台，该装载台用以装载基材，该反应室内于装载台的上方还设置有一罩体，该靶材和罩体之间设置有第一电源控制装置以设置靶材和罩体之间的第一负偏压，该罩体和基材之间设置有第二电源控制装置以设置罩体和基材之间的第二负偏压。本发明多弧离子镀膜装置能够有效于基材的尖端部进行沉积镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种多弧离子镀膜装置，其包括一反应室、设置于反应室的腔体顶壁的至少一靶材及设置于反应室的腔体底壁的一装载台，该装载台用以装载基材，其特征在于：该反应室内于装载台的上方还设置有一罩体，该靶材和罩体之间设置有第一电源控制装置以设置靶材和罩体之间的第一负偏压，该罩体和基材之间设置有第二电源控制装置以设置罩体和基材之间的第二负偏压，该罩体包括一主体部和一连接杆，该主体部为由金属丝制成且形成有若干网孔，该主体部设置于装载台的上方，且能完全罩住基材的尖端部；该连接杆的一端连接所述主体部，其另一端可拆卸的连接于反应室的腔壁上。
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