[发明专利]具有微波能输送装置的微波等离子体源有效
| 申请号： | 201110294000.3 | 申请日： | 2011-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN102378463A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | J·马伊;H·梅利希;P·沃尔夫;H·施勒姆 | 申请（专利权）人： | 德国罗特·劳股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 董华林 |
| 地址： | 德国霍恩施泰*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波等离子体源，其具有微波能输送装置，所述微波能输送装置用于将微波能从微波供应器(1)经由波导过渡接头和同轴导体系统输送到保护管(3)内部的内导体(2)，所述保护管设置在真空室(4)内部并且相对于大气密封。所述内导体(2)和保护管(3)终结并保持在真空室(4)的真空侧的平面内；有在一边无电位地接地的波导过渡接头；在内导体(2)的轴向上设置作为同轴内导体的导管(8)，所述导管沿轴向在同轴外导体(6)内部延伸直到真空室(4)的真空侧的平面；并且在导管(8)内部设置可移动的导体棒(18)，使得导体棒能与内导体(2)接触。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微波 输送 装置 等离子体 | ||
【主权项】：
微波等离子体源，其具有微波能输送装置，所述微波能输送装置用于将微波能从微波供应器(1)经由波导过渡接头和同轴导体系统输送到保护管(3)内部的内导体(2)，该保护管设置在真空室(4)内部并且相对于大气密封，其特征在于，所述内导体(2)和保护管(3)终结且保持在真空室(4)的真空侧的平面内；有在一边无电位地接地的波导过渡接头；在内导体(2)的轴向上设置作为同轴内导体的导管(8)，所述导管沿轴向在同轴外导体(6)内部延伸直到真空室(4)的真空侧的平面；并且在导管(8)内部设置可移动的导体棒(18)，使得导体棒能与内导体(2)接触。
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