[发明专利]用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构

摘要

本发明公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连，每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副，其中球面副与转动副之间有连杆相连，三根连杆的轴线在同一平面内。三个移动副为驱动副，三个移动副与固定平台之间分别通过固连在固定平台一侧的三根滑轨相连。三根滑轨的轴线与固定平台垂直并沿着以固定平台的中心为圆心的圆周均布，三个转动副的轴线与运动平台垂直并沿着以运动平台中心为圆心的圆周均布。本发明可用于少自由度并联机构适用的场合，也可用于浸没式光刻中对安装在运动平台上的浸没单元进行位姿调整，对于安装空间要求苛刻的场合尤为适用。

主权项

一种用于浸没单元调节的3 PSR V并联机构，其特征在于：包括固定平台(1)、运动平台(8)和支链阵列(2)；支链阵列包括第一支链(2A)，第二支链(2B)和第三支链(2C)；其中：1）第一支链(2A)：包括第一滑轨(3A)，第一移动副(4A)，第一球面副(5A)，第一连杆(6A)和第一转动副(7A)；第一滑轨(3A)垂直安装在固定平台(1)上，第一移动副(4A)安装在第一滑轨(3A)，第一移动副(4A)内侧面安装第一球面副(5A)，第一连杆(6A)的一端与第一球面副(5A)连接，第一连杆(6A)的另一端与第一转动副(7A)连接，第一转动副(7A)的轴线与运动平台(8)垂直，第一转动副(7A)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中；2）第二支链(2B)：包括第二滑轨(3B)，第二移动副(4B)，第二球面副(5B)，第二连杆(6B)和第二转动副(7B)；第二滑轨(3B)垂直安装在固定平台(1)上，第二移动副(4B)安装在第二滑轨(3B)，第二移动副(4B)内侧面安装第二球面副(5B)，第二连杆(6B)的一端与第二球面副(5B)连接，第二连杆(6B)的另一端与第二转动副(7B)连接，第二转动副(7B)的轴线与运动平台(8)垂直，第二转动副(7B)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中；2）第三支链(2C)：包括第三滑轨(3C)，第三移动副(4C)，第三球面副(5C)，第三连杆(6C)和第三转动副(7C)；第三滑轨(3C)垂直安装在固定平台(1)上，第三移动副(4C)安装在第三滑轨(3C)，第三移动副(4C)内侧面安装第三球面副(5C)，第三连杆(6C)的一端与第三球面副(5C)连接，第三连杆(6C)的另一端与第三转动副(7C)连接，第三转动副(7C)的轴线与运动平台(8)垂直，第三转动副(7C)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中；所述的三个滑轨(3A、3B、3C)在固定平台(1)上沿着以固定平台中心为圆心的圆周上均布；所述的三个转动副(4A、4B、4C)的轴线在运动平台(8)上沿着以运动平台中心为圆心的圆弧环形槽中均布。