[发明专利]一种用于基板预对准以及基板方向检测及调整的装置有效
申请号: | 201110298961.1 | 申请日: | 2011-09-29 |
公开(公告)号: | CN103034064A | 公开(公告)日: | 2013-04-10 |
发明(设计)人: | 黄剑飞;郭鹏;徐涛 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/67;H01L21/68;G01V8/10 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提出一种光刻机基板预对准装置,包括:预对准台,安装在一旋转台上,对玻璃基板的位置进行预对准;多个支撑元件,支撑玻璃基板;以及四组夹紧定位组件,位于预对准台的四周,对玻璃基板进行定位。本发明的基板预对准装置可同时用于基板预对准、方向检测和方向调整,同时可以满足空间较为紧张和降低成本的需求,从而提高整个基板传输系统的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 基板预 对准 以及 方向 检测 调整 装置 | ||
【主权项】:
一种光刻机基板预对准装置,其特征在于包括:预对准台,安装在一旋转台上,对玻璃基板的位置进行预对准;多个支撑元件,支撑玻璃基板;以及四组夹紧定位组件,位于预对准台的四周,对玻璃基板进行定位。
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