[发明专利]一种可快速处理数据的原子层沉积设备

摘要

本发明涉及一种半导体工艺设备，具体涉及一种可快速处理数据的原子层沉积设备。所述原子层沉积设备，包括真空部件、加热部件、气路部件、等离子体产生部件和计算机；计算机包括控制单元CPU，与真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件连接，用于对真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件进行控制操作；以及，数据处理单元GPU，与控制单元连接，用于对真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件发送到控制单元的数据进行处理。本发明通过采用CPU和GPU的控制结构，提高了原子层沉积设备的处理速度，增强了设备的控制能力，有效减少设备故障，整个设备结构简洁清晰，各个部件之间的关系简单，便于组装、生产和维护。

主权项

一种可快速处理数据的原子层沉积设备，其特征在于：包括真空部件、加热部件、气路部件 、等离子体产生部件和计算机；所述计算机包括控制单元，与所述真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件连接，用于对所述真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件进行控制操作；以及，数据处理单元，与所述控制单元连接，用于对所述真空部件、加热部件、气路部件和等离子体产生部件发送到所述控制单元的数据进行处理。