[发明专利]快速精密射频自动匹配装置有效
| 申请号： | 201110301286.3 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103021774A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 赵章琰;李勇滔;秦威;李英杰;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/24 | 分类号： | H01J37/24;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种快速精密射频自动匹配装置包括复阻抗检测装置、控制模块及包含真空电容器、空气可变电容器、电感的电容电感网络；所述真空电容器与所述空气可变电容器并联；所述控制模块根据所述复阻抗检测装置检测的结果，控制所述电容电感网络中真空电容器、空气可变电容器转动，以实现自动阻抗匹配。该快速精密射频自动匹配装置能够对工作状态变化导致的负载阻抗变化做出快速响应，并且能够精细的寻找最优匹配点的快速精密射频自动匹配装置。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 精密 射频 自动 匹配 装置 | ||
【主权项】：
一种快速精密射频自动匹配装置，其特征在于，包括：复阻抗检测装置、控制模块及包含真空电容器、空气可变电容器、电感的电容电感网络；所述真空电容器与所述空气可变电容器并联；所述控制模块根据所述复阻抗检测装置检测的结果，控制所述电容电感网络中真空电容器、空气可变电容器转动，以实现自动阻抗匹配。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110301286.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
