[发明专利]一种精密移动平台的正交性实时标定方法

摘要

本发明公开了一种精密移动平台的正交性实时标定方法，通过成像系统，由相机实时采集基底上的定位标记图形，通过人工智能识别技术检测定位标记，获取定位标记的位置坐标，然后沿着四个方向分别移动一定的距离，获取实时的位置坐标，通过计算标定出精密移动平台的正交性。本发明为精密移动平台的正交性提供一种实时标定方法，使得在直写式曝光系统中，确定由此而导致的实际曝光位置与正确曝光位置的偏差参数，经过计算将补偿值补偿到系统中，用于提高曝光位置的精度。

主权项

一种直写式光刻机的精密移动平台正交性的实时标定方法，其特征在于：直写式光刻机包含曝光光源、图形发生器、安装于移动平台上的基底，曝光光源、图形发生器之间安装有光学集光系统；图形发生器与基底之间设有倾斜的分束器与可更换的透镜，分束器的反射光再经反射镜进入CCD相机，CCD相机外接计算机；标定方法包含以下步骤：1）将带有定位标记的基底放在精密移动平台上，通过真空吸附加以固定；2）通过控制精密移动平台，由CCD相机实时采集基底上的定位标记经反射后成像在CCD相机上的图片，将基底上的定位标记成像在CCD相机的视场中心；3）获取此时定位标记中心的位置坐标O（XO，YO），设计CCD相机直角坐标系以O点为原点，向右方向为X轴的正方向，向上方向为Y轴的正方向；4）保持CCD相机固定不动，控制精密移动平台，将定位标记图形沿着CCD相机直角坐标系的X轴负方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标A(XA，YA)；沿着CCD相机直角坐标系的X轴正方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标B(XB，YB)；沿着CCD相机直角坐标系的Y轴负方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标C(XC，YC)；沿着CCD相机直角坐标系的Y轴正方向移动一定距离，获取此时定位标记中心的位置坐标D(XD，YD)；5）计算出直线AB与CCD相机坐标系X轴的夹角θ1，直线CD与CCD相机坐标系Y轴的夹角θ2，从而实时标定出精密移动平台X、Y轴的正交性角度。