[发明专利]功能性薄膜及功能性薄膜的制造方法

摘要

本发明提供一种功能性薄膜的制造方法，在将具有由有机材料形成的表面的长条的基板沿长度方向输送，并同时通过等离子体CVD制膜形成无机膜时，能够稳定地形成能够表现出与膜厚对应的作为目标的气体阻挡性能且时效稳定性也优良的气体阻挡膜。在电极对之间，通过使基板的输送方向的最上游位置处的等离子体电子密度比最下游位置处的等离子体电子密度低，来解决所述课题。

主权项

一种功能性薄膜，其特征在于，具有由有机材料形成的表面的基板与在所述基板上形成的无机膜的界面处的碳及无机膜的构成元素中至少一种的原子％为5％以上的区域的厚度为3～15nm。