[发明专利]电镀液温度控制系统无效
申请号: | 201110302070.9 | 申请日: | 2011-09-30 |
公开(公告)号: | CN102337579A | 公开(公告)日: | 2012-02-01 |
发明(设计)人: | 冉彦祥;赵喜华 | 申请(专利权)人: | 东莞市五株电子科技有限公司;东莞市威力固电路板设备有限公司 |
主分类号: | C25D21/12 | 分类号: | C25D21/12;C25D21/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种电镀液温度控制系统,所述电镀液温度控制系统包括电镀槽、电镀液和流体。所述电镀槽包括内壁和外壁,所述内壁形成收容空间,所述内壁和所述外壁之间形成中空结构,所述电镀槽还包括入液口和出液口,所述入液口和所述出液口分别位于所述中空结构的两端。所述电镀液收容于所述内壁形成的所述收容空间。所述流体自所述入液口进入所述中空结构,并从所述出液口流出所述中空结构。所述流体在进入所述中空结构之前被加热,其进入到所述中空结构后,可以同时利用所述内壁对所述电解液进行全方位的均匀传导加热,从而提高电镀工艺良率。此外,由于不需要额外加热探头以及对应的支撑架,因此可以简化整个电镀设备的结构。 | ||
搜索关键词: | 电镀 温度 控制系统 | ||
【主权项】:
一种电镀液温度控制系统,其特征在于,包括:电镀槽,所述电镀槽包括内壁和外壁,所述内壁形成收容空间,所述内壁和所述外壁之间形成中空结构,所述电镀槽还包括入液口和出液口,所述入液口和所述出液口分别位于所述中空结构的两端;电镀液,所述电镀液收容于所述内壁形成的所述收容空间;流体,所述流体自所述入液口进入所述中空结构,并从所述出液口流出所述中空结构。
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