[发明专利]图案形成装置及图案形成方法

摘要

本发明提供一种在基板上涂敷涂敷液来形成规定的图案的图案形成技术中高效地在不规则形状基板上形成图案的技术。具有：第一嘴体(52)，沿着与对基板进行扫描的扫描移动方向垂直的方向(Y方向)，列状地排列有喷出涂敷液的喷嘴(523)；第二嘴体(72)，具有能够通过滚珠螺杆机构(740)改变Y方向位置的一对喷嘴(723)。通过从第一嘴体(52)喷出涂敷液，形成相互平行且长度相同的多个图案，另一方面，通过在与利用第一嘴体(52)形成图案的时刻相独立的时刻被控制而进行涂敷的第二嘴体(72)，来形成长度与该图案的长度不同的图案。

主权项

一种图案形成装置，其特征在于，具有：基板保持装置，保持基板，第一嘴体，列状地排列配置有多个第一喷出口，所述多个第一喷出口分别喷出含有用于形成图案的材料的涂敷液，第二嘴体，具有喷出所述涂敷液的第二喷出口，移动装置，使所述第一嘴体沿着与所述第一喷出口的排列方向垂直的扫描移动方向相对于所述基板移动，并且使所述第二嘴体沿着所述扫描移动方向，以所述第二喷出口在所述排列方向上通过所有所述第一喷出口的外侧的方式相对于所述基板移动；从所述第一喷出口喷出所述涂敷液的时刻和从所述第二喷出口喷出所述涂敷液的时刻不同。