[发明专利]兆声波清洗头及具有该清洗头的兆声波清洗系统有效
| 申请号： | 201110304716.7 | 申请日： | 2011-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102327883A | 公开（公告）日： | 2012-01-25 |
| 发明（设计）人： | 初国超;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明为一种兆声波清洗头及包括该清洗头的兆声波清洗系统，该清洗头包括：换能器；谐振器，用于传播来自换能器的能量；该谐振器具有上表面和下表面，上表面耦合至换能器，谐振器内部具有不通透上表面、下表面的真空的孔阵列。本发明兆声波清洗头采用内部具有圆柱形或其它几何形状的不通透的真空的孔阵列的谐振器，通过兆声波在其内部的多次反射起到补偿消耗的作用，消除振动波的不均匀性，实现兆声波能量的均匀分布。当半导体上喷有超纯水或者化学液时，通过兆声波产生的均匀的流体波将半导体上的杂质冲掉，并经由液体的流动被带走，从而实现对半导体的清洗，并且对半导体的破坏较小。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 洗头 具有 清洗 系统 | ||
【主权项】：
一种兆声波清洗头，其特征在于，包括：换能器；谐振器，用于传播来自换能器的能量；该谐振器具有上表面和下表面，上表面耦合至换能器，谐振器内部具有不通透上表面、下表面的真空的孔阵列。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京七星华创电子股份有限公司，未经北京七星华创电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110304716.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
