[发明专利]一种生产Φ6英寸区熔气掺硅单晶的热系统及工艺有效
| 申请号： | 201110306527.3 | 申请日： | 2011-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102358951A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 高树良;张雪囡;王彦君;靳立辉;康冬辉;王遵义;李建弘;沈浩平 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产Φ6英寸区熔气掺硅单晶的热系统及工艺。热系统包括线圈和保温筒，线圈上表面为倾斜多台阶线圈，线圈外径为Φ350±50mm，内径为Φ50±2mm，厚度为30±2mm。保温筒直径为Φ350±50mm，高度为100±20mm。线圈与保温筒的距离为100±50mm。其工艺为：在扩肩过程中向炉室内通入掺杂气体，下轴转速为7～10rpm，扩肩角度为40°±2°；在等径生长过程中，下轴下降速度约为3～4mm/min，下轴转速为3～5rpm，线圈发生器功率为其额定功率的60%～70%。通过采用新设计的热系统及调整了工艺参数，可以成功拉制出Φ6英寸区熔气掺硅单晶，解决了大直径区熔气掺硅单晶在生产过程容易产生位错断苞及“出刺”问题，从而满足市场对大直径硅单晶的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产 英寸 区熔气掺硅单晶 系统 工艺 | ||
【主权项】：
一种生产Φ6英寸区熔气掺硅单晶的热系统，包括线圈（1）和保温筒（2），其特征在于：所述线圈（1）上表面为倾斜多台阶线圈，线圈（1）外径为Φ350±50mm，内径为Φ50±2mm，厚度为30±2mm。
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