[发明专利]具有非接合半导体特性靶的溅射阴极有效
| 申请号： | 201110306609.8 | 申请日： | 2011-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN102420092A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | S·D·费尔德曼-皮博迪;R·D·戈斯曼;R·W·布莱克;P·L·奥基夫 | 申请（专利权）人： | 初星太阳能公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;H01J37/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 柯广华;朱海煜 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明名称为“具有非接合半导体特性靶的溅射阴极”。一般地提供了溅射阴极(10)。溅射阴极(10)可包括定义溅射表面(14)和对着溅射表面(14)的背表面(16)的半导体特性靶(12)(例如，硫化镉靶、氧化镉锡靶等)。背板(18)可放置成面向靶(12)的背表面(16)并且不接合到靶(12)的背表面(16)。非接合附连机制可将靶(12)可拆卸地保持在溅射阴极(10)之内，以使得背表面(16)在溅射期间面向背板(18)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 接合 半导体 特性 溅射 阴极 | ||
【主权项】：
一种溅射阴极(10)，包括：定义溅射表面(14)和背表面(16)的可拆卸靶(12)，其中，所述背表面(16)对着所述溅射表面(12)，并且其中，所述靶(12)包含半导体特性材料；背板(18)，放置成面向所述靶(12)的所述背表面(16)并且不接合到所述靶(12)的所述背表面(16)；以及非接合附连机制，可拆卸地将所述可拆卸靶(12)保持在所述溅射阴极(10)之内，以使得所述背表面(16)在溅射期间面向所述背板(18)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于初星太阳能公司，未经初星太阳能公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110306609.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
