[发明专利]一种镍的回收方法无效
申请号: | 201110307980.6 | 申请日: | 2011-10-12 |
公开(公告)号: | CN102443702A | 公开(公告)日: | 2012-05-09 |
发明(设计)人: | 周军;傅昶 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | C22B7/00 | 分类号: | C22B7/00;C22B23/00 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 王敏杰 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种镍的回收方法,通过对废液加热至镍羰基的分解温度,使得镍羰基分解为镍单质和一氧化碳,通过过滤或者再次加热即可方便的回收镍单质。 | ||
搜索关键词: | 一种 回收 方法 | ||
【主权项】:
一种镍的回收方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1:收集包含有镍羰基和乙醇的废液; 步骤S2:对该废液进行第一次加热,以使镍羰基分解为镍单质和一氧化碳; 步骤S3:过滤回收镍单质或继续第二次加热,乙醇挥发完后收集镍单质。
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