[发明专利]氩气的提纯方法及提纯装置

摘要

本发明所要解决的技术问题是在吸附处理的前处理阶段降低氩气的杂质含有率，减少提纯所需的能量，并以高纯度对氩气进行提纯。本发明的技术方案是在对至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分、氮的氩气进行提纯时，使烃的一部分和油分被活性炭吸附；然后，如果氩气中的氧量在与氢、一氧化碳、烃的全部进行反应所需的氧的设定量以下，则添加氧以使其量超过设定量，并使用催化剂以使该反应进行；然后，在氩气中添加一氧化碳以使其量超过与前述反应所残留的全部氧进行反应所需的设定量，使用钌、钯、或它们混合而成的催化剂以使该反应进行。然后，使氩气中的一氧化碳、二氧化碳、水、氮通过变压吸附法被吸附剂吸附。

主权项

氩气的提纯方法，该方法是对至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气进行提纯的方法，其特征在于，使所述氩气中烃的一部分和油分被活性炭吸附，然后，判断所述氩气中的氧量是否超过与所述氩气中的氢、一氧化碳和烃的全部进行反应所需的氧的设定量，所述氩气中的氧量在所述设定量以下时，添加氧以使该氧量超过所述设定量，然后，使用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧进行反应，以残留氧的状态生成二氧化碳和水，然后，添加一氧化碳以使所述氩气中的一氧化碳量超过与该残留氧的全部进行反应所需的一氧化碳的设定量，然后，通过使用钌催化剂、钯催化剂或它们的混合催化剂使所述氩气中的氧与一氧化碳进行反应，以残留一氧化碳的状态生成二氧化碳，然后，使所述氩气中至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮通过变压吸附法被吸附剂吸附。