[发明专利]平面微型射频线圈与微流通道的集成结构有效
申请号: | 201110308841.5 | 申请日: | 2011-10-12 |
公开(公告)号: | CN102500437A | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 吴卫平;易红;倪中华;陆荣生 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00;G01N24/08;G01R33/28 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 210096*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种平面微型射频线圈与微流通道的集成结构,在衬底的上方依次设有PI层、第一PDMS层和第二PDMS层,所述PI层包裹覆盖平面微型射频线圈和引桥,所述第一PDMS层和设在引线上方的电极包裹覆盖引线,所述第一PDMS层与第二PDMS层对准键合形成微流通道,所述第二PDMS层上设有直通微流通道的进出管通孔。本发明平面微型射频线圈与微流通道的集成结构,使平面微型射频线圈与微流通道之间达到短目标距离。 | ||
搜索关键词: | 平面 微型 射频 线圈 流通 集成 结构 | ||
【主权项】:
一种平面微型射频线圈与微流通道的集成结构,其特征在于:在衬底(1)的上方依次设有PI层(4)、第一PDMS层(7)和第二PDMS层(8),所述PI层(4)包裹覆盖平面微型射频线圈(2)和引桥(3),所述第一PDMS层(7)和设在引线(5)上方的电极(6)包裹覆盖引线(5),所述第一PDMS层(7)与第二PDMS层(8)对准键合形成微流通道(9),所述第二PDMS层(7)上设有直通微流通道(9)的进出管通孔(10)。
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