[发明专利]一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具

摘要

一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具，属于晶硅太阳能电池技术领域。底板连接硅片叠放底座；硅片叠放底座的两侧壁上分别通过螺栓固定连接第一支撑座和第四支撑座；固定夹板和活动夹板为矩形板，在对角的角部有孔，分别连接第一支撑轴、第二支撑轴；固定夹板的内侧接触面有中心圆槽，外侧面有中心方槽；活动夹板的内侧接触面有中心槽；顶杆的螺栓杆螺纹连接顶杆支撑，顶杆的顶端接触活动夹板。一点施力避免导致夹板变形和硅片受力不均。接触面中心挖槽使力分散到硅片边缘，让硅片边缘夹紧，减小硅片中间区域的受力，这样既可使刻蚀气体尽量少地渗透进叠放的硅片内部，又可减少碎片的产生。硅片叠放底座可使硅片的叠放过程更加简洁，减少硅片间的摩擦。

主权项

一种晶硅太阳能电池干法刻蚀夹具，其特征在于底板连接硅片叠放底座；硅片叠放底座的第一硅片叠放底座的两侧壁上分别通过螺栓固定连接第一支撑座和第四支撑座；硅片叠放底座的第二硅片叠放底座的两侧壁上分别通过螺栓固定连接第三支撑座和第二支撑座；第一支撑座、第二支撑座、第三支撑座和第四支撑座的上端有缺口，所述缺口支撑第一支撑轴、第二支撑轴和顶杆支撑；固定夹板和活动夹板为矩形板，在对角的角部有孔，分别连接第一支撑轴、第二支撑轴；固定夹板的内侧接触面有中心圆槽，外侧面有中心方槽；活动夹板的内侧接触面有中心槽；顶杆的螺栓杆螺纹连接顶杆支撑，顶杆的顶端接触活动夹板。