[发明专利]一种提高氧化锌单晶电阻率的退火方法无效
| 申请号： | 201110315866.8 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN103046133A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 林文文;黄瑾;黄丰;林璋;黄嘉魁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B29/16 | 分类号： | C30B29/16;C30B33/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350002 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，属于半导体光电材料技术领域。将能分解产生氧气的供氧化合物和氧化锌单晶同时放置在密闭的抽真空石英管中，然后对石英管进行高温保温退火，供氧化合物受热分解产生氧气，在大于一个大气压的氧气气氛和高温环境中对氧化锌单晶进行高温退火，提高氧化锌单晶的电阻率。本发明的优点在于，退火过程工艺简单，成本低，可以使得低电阻率的ZnO单晶电阻率提高到102Ω·cm以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 氧化锌 电阻率 退火 方法 | ||
【主权项】：
一种提高氧化锌单晶电阻率的退火方法，其特征在于包括以下步骤：将低电阻率的氧化锌单晶和供氧化合物真空密封在石英管内，置于加热炉进行高温保温退火，最后自然降温，获得高电阻率的氧化锌单晶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院福建物质结构研究所，未经中国科学院福建物质结构研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110315866.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
