[发明专利]微波等离子体源和等离子体处理装置

摘要

提供一种极力抑制在处理容器内的由微波的驻波引起的影响，并在腔室内能够提高等离子体密度的均匀性的微波等离子体源和使用其的等离子体处理装置。微波等离子体源(2)具有微波供给部(40)，微波供给部(40)具有：将微波导入处理容器内的多个微波导入机构(43)；和多个相位器(46)，其调整分别向多个微波导入机构(43)输入的微波的相位，通过多个相位器(46)调整输入多个微波导入机构(43)的微波的相位，关于多个微波导入机构(43)中邻接的微波导入机构，固定一个的微波的输入相位使另一个的微波的输入相位按照周期性波形变化。

主权项

一种微波等离子体源，是向实施等离子体处理的处理容器内导入微波、并使向所述处理容器内供给的气体等离子体化的等离子体源，其特征在于，具备：生成微波的微波生成机构；和将生成的微波供给到所述处理容器内的微波供给部，所述微波供给部具有：将微波导入所述处理容器内的多个微波导入机构；对分别向所述多个微波导入机构输入的微波的相位进行调整的多个相位器，通过所述多个相位器对输入所述多个微波导入机构的微波的相位进行调整，使得关于多个微波导入机构中邻接的微波导入机构，固定一个的微波的输入相位使另一个的微波的输入相位按照周期性波形变化，或者使邻接的微波导入机构的双方的微波的输入相位按照相互不重叠的周期性波形变化。