[发明专利]一种互连线平均失效时间计算方法及系统有效

专利信息
申请号: 201110319494.6 申请日: 2011-10-19
公开(公告)号: CN102508953A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 马天宇;陈岚;阮文彪 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F17/50 分类号: G06F17/50
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 逯长明
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例公开了一种互连线平均失效时间计算方法及系统。所述方法包括:确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积,所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域;获取经过所述目标互连线的电流数据;以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积,得到所述目标互连线的实际电流密度;将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数,获得所述目标互连线的平均失效时间。本方案中,充分考虑了CMP处理后所产生的损失区域带来的误差影响,在计算互连线的MTTF时,所确定的电流密度为通过目标互连线实际区域的电流密度,进而进行后续MTTF计算,因此,可以有效计算CMP处理后互连线的MTTF。
搜索关键词: 一种 互连 平均 失效 时间 计算方法 系统
【主权项】:
一种互连线平均失效时间计算方法,其特征在于,包括:确定目标电路版图中目标互连线的实际区域横截面的面积,所述实际区域为所述目标互连线原始区域中损失区域以外的区域;获取经过所述目标互连线的电流数据;以所述电流数据除以所述实际区域横截面的面积,得到所述目标互连线的实际电流密度;将所述目标互连线的实际电流密度代入平均失效时间函数,获得所述目标互连线的平均失效时间。
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