[发明专利]一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法及抛光液无效
| 申请号： | 201110320294.2 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102343547A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张楷亮;张涛峰;王芳;任君;苗银萍 | 申请（专利权）人： | 天津理工大学 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;C09G1/02 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300384 天津市南*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法，在抛光过程中加热抛光盘，抛光盘的温度为30℃-100℃；该抛光法采用的抛光液，由复合磨料、pH复合调节剂、表面活性剂、分散剂和去离子水组成，其中复合磨料由硬质磨料和软质磨料两种磨料粒子混合构成，pH调节剂由有机强碱和有机弱碱组成，抛光液的pH值为8-13。本发明的优点：在抛光过程中通过加热铸铁抛光盘，促进抛光液与蓝宝石衬底材料的反应速率，从而提高了抛光的效率；抛光液中使用复合磨料可以避免表面划痕和亚表层裂缝等问题，以获得高质量、高平整度的表面性状，同时兼顾了抛光的效率；该抛光液还具备稳定性高、不腐蚀设备、易清洗等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 衬底 材料 热化学 机械抛光 抛光 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石衬底材料的热化学机械抛光法，其特征在于：在热化学机械抛光过程中加热抛光盘，抛光盘的温度为30℃‑100℃。
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