[发明专利]硅片清洗机的漂洗槽有效
| 申请号： | 201110322826.6 | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102343340A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 刘伟;王欣;杨乐 | 申请（专利权）人： | 高佳太阳能股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 陈慧珍 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种硅片清洗机的漂洗槽，包括前后两部分，前半部分依次布置五个漂洗槽，后半部分依次布置两个漂洗槽，所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连，且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构，所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通，所述漂洗槽VII上开设有排污口，所述溢流管道上安装有蓄水槽，所述蓄水槽中安装有水位控制器，水位控制器连接有管道泵。该漂洗槽采用阶梯溢流式结构，只需一个进水口与出水口，具有结构简单、节约用水量的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 漂洗 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗机的漂洗槽，包括前后两部分，前半部分依次布置五个漂洗槽，后半部分依次布置两个漂洗槽，其特征在于：所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连，且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构，所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通，所述漂洗槽VII上开设有排污口，所述溢流管道上安装有蓄水槽，所述蓄水槽中安装有水位控制器，水位控制器连接有管道泵。
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