[发明专利]一种折反式逆补偿器有效
| 申请号： | 201110324192.8 | 申请日： | 2011-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN102393565A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 吴永前;张雨东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B17/08;G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明是一种折反式逆补偿器，用于对非球面零检测补偿器进行标校，包括干涉仪、透镜、负透镜和反射球面镜，在干涉仪和透镜之间设置有待标定的非球面零检测补偿器；在反射球面镜和透镜之间设置有负透镜，透镜用于校正高级球差，负透镜用于产生定量球差；光线两次通过负透镜和透镜后，透镜和透镜产生的球差之和与非球面零检测补偿器的理论球差大小相等符号相反；干涉仪发出的单波长发散球面波经过非球面零检测补偿器后形成了发散球面波，带有球差的发散球面波依次通过透镜、负透镜到达反射球面镜，光束经过反射球面镜反射后，第二次通过负透镜和透镜，并通过非球面零检测补偿器后到达干涉仪，通过干涉仪对非球面零检测补偿器的系统像差进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反式 补偿 | ||
【主权项】：
一种折反式逆补偿器，其特征在于包括：干涉仪、透镜、负透镜和反射球面镜，其中：在干涉仪和透镜之间设置有被标定的非球面零检测补偿器；在反射球面镜和透镜之间设置有负透镜，透镜用于校正高级球差，负透镜用于产生定量球差；光线两次通过负透镜和透镜后，透镜和透镜产生的球差之和与非球面零检测补偿器的理论球差大小相等符号相反；干涉仪发出的单波长发散球面波，经过非球面零检测补偿器后形成了发散球面波，该带有球差的发散球面波依次通过透镜、负透镜到达反射球面镜，光束经过反射球面镜反射后，第二次通过负透镜和透镜，并通过非球面零检测补偿器后到达干涉仪，通过干涉仪对非球面零检测补偿器的系统像差进行检测。
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