[发明专利]具有能量收集器件的传感器有效
| 申请号： | 201110324343.X | 申请日： | 2011-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN102674234A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 钟添淦;戴文川;黄耀德;黄信锭;蔡尚颖;杨长沂;洪嘉明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;高雪琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 在本发明披露的一些实施例中，传感器包括基板、传感器元件和能量收集器件。传感器元件包括板件，并且板件相对于基板可移动。能量收集器件形成在传感器元件的板件上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 能量 收集 器件 传感器 | ||
【主权项】：
一种器件，包括：基板；传感器元件，连接至所述基板并且包括板件，所述板件相对于所述基板可移动；以及能量收集器件，所述能量收集器件形成在所述传感器元件的所述板件上。
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