[发明专利]形状测定传感器有效
| 申请号： | 201110329047.9 | 申请日： | 2011-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102564382A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 长池康成;小林宏史 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种形状测定传感器，用于测定检查对象物(100)的表面形状，该形状测定传感器(1)具有：探针(11)，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物(100)的表面形状；静压轴承(12)，其将所述探针(11)支承为能够沿轴方向滑动；以及止挡部(60)，其能够将所述探针(11)切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针(11)的滑动的第二状态。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测定 传感器 | ||
【主权项】：
一种形状测定传感器，该形状测定传感器用于测定检查对象物的表面形状，其中，该形状测定传感器具有：探针，其被支承为能够沿自身的轴方向滑动，通过沿所述轴方向进行滑动来追踪所述检查对象物的表面形状；轴承部，其将所述探针支承为能够沿所述轴方向滑动；以及探针保持机构，其能够将所述探针切换为定位保持在其滑动范围内的中间部的期望位置的第一状态和不干涉所述探针的滑动的第二状态。
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