[发明专利]太阳能电池RIE工艺温度补偿方法

摘要

本发明涉及太阳能电池RIE制绒技术领域，特别是一种太阳能电池RIE工艺温度补偿方法，具体步骤如下：首先每次作业之前通过热电偶或红外线温度侦测仪侦测基板温度；然后此温度值将反馈至操作系统，系统根据温度值计算出实际工艺时间，工艺时间计算公式如下：T＝T0+a*ln(T1)+b；T：补偿后的工艺时间；T0：设定工艺时间；T1：基板温度；a和b：常数，根据收集的温度与工艺时间数据计算出；最后设备工作时将以补偿后的工艺时间为实际工艺时间。本发明的有益效果是：通过此发明可解决RIE工艺中反射率随工艺温度波动的缺陷，通过引入温度补偿，自动调节工艺时间，提高RIE工艺稳定性。

主权项

一种太阳能电池RIE工艺温度补偿方法，其特征是：具体步骤如下：a)每次作业之前通过热电偶或红外线温度侦测仪侦测基板温度；b)此温度值将反馈至操作系统，系统根据温度值计算出实际工艺时间，工艺时间计算公式如下：T＝T0+a*ln(T1)+b；T：补偿后的工艺时间；T0：设定工艺时间；T1：基板温度；a和b：常数，根据收集的温度与工艺时间数据计算出；c)设备工作时将以补偿后的工艺时间为实际工艺时间。