[发明专利]高频探测结构

摘要

本发明提供用于晶圆级测试的探针卡。探针卡包括其中置入了电源线、接地线、和信号线的空间转换器，其中所述空间转换器包括各种导线，该导线具有在第一表面上的第一间距和在第二表面上的第二间距，第二间距基本上小于第一间距；接近所述空间转换器的所述第一表面而配置的印刷电路板；和设置在所述空间转换器的所述第一表面上的电源层，该电源层被图案化，使所述空间转换器的所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接。

主权项

一种用于晶圆级测试的探针卡，包括：空间转换器，所述空间转换器中置入电源线，接地线，和信号线，其中所述间隔变压器包括多条导线，所述导线具有在第一表面上的第一间距和在第二表面上的第二间距，所述第二间距基本上小于所述第一间距；印刷电路板，将所述印刷电路板接近所述空间转换器的所述第一表面配置；以及电源层，所述电源层设置在所述空间转换器的所述第一表面上，并且将所述电源层图案化，使所述空间转换器的所述电源线和所述接地线与所述印刷电路板连接。