[发明专利]氧化铜分级阵列薄膜及其制备方法无效

专利信息
申请号: 201110329940.1 申请日: 2011-10-21
公开(公告)号: CN103058124A 公开(公告)日: 2013-04-24
发明(设计)人: 李越;段国韬;刘广强;张洪文;蔡伟平 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81C1/00;C23C14/28;C23C14/08
代理公司: 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 代理人: 任岗生;王挺
地址: 230031*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种氧化铜分级阵列薄膜及其制备方法。薄膜由位于基底上的表面覆有氧化铜的微米球和亚微米球组成,薄膜的厚度为1~10μm,其中的微米球按六方有序排列、亚微米球位于微米球之间,微米球和亚微米球的球直径分别为1~10μm和100~800nm,氧化铜为棒长为50~400nm、棒直径为30~60nm的棒簇状;方法为先于基底上将微米球合成为六方紧密排列的单层晶体模板,再使用活性等离子体刻蚀模板,得到其上的微米球呈六方有序松散排列的模板,接着,先将亚微米球充填于模板的微米球之间的空隙中,得到复合晶体模板,再使用激光脉冲沉积法于复合晶体模板上沉积氧化铜,制得目标产物。它可广泛地用于仿生材料、催化、光电子、微流体器件、气敏器件等领域。
搜索关键词: 氧化铜 分级 阵列 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
一种氧化铜分级阵列薄膜,包括表面覆有氧化铜的微球,其特征在于:所述微球为微米球和亚微米球,所述微米球和亚微米球位于基底上,并组成厚度为1~10μm的薄膜,所述薄膜中的微米球按六方有序排列、亚微米球位于微米球之间;所述微米球的球直径为1~10μm,所述亚微米球的球直径为100~800nm;所述氧化铜为棒簇状,所述构成棒簇的氧化铜棒的棒长为50~400nm、棒直径为30~60nm。
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