[发明专利]一种湿法洗净装置

摘要

本发明公开了一种湿法洗净装置，包括：可编程序逻辑控制器、液位传感器、液位传感器采样管路、洗净槽等，HF液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为300mm；HNO3液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为200mm；H2O液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为100mm。本发明通过改造传统的湿法洗净设备相关的HNO3、H2O洗净槽内的液位传感器采样管口高低位置，通过高低位置的变化产生液体不同的配比，从而实现刻蚀条件HF∶HNO3＝2∶1到HF∶HNO3∶H2O＝1∶1∶1的应用转变，最终在不影响洗净效果的前提下，每次洗净过程可有效降低HF的使用量50％。

主权项

一种湿法洗净装置，其特征在于，包括：可编程序逻辑控制器、液位传感器、液位传感器采样管路和洗净槽；所述洗净槽内设有H2O、HF、HNO3的进入管路，该进入管路上设有开关控制阀和气动阀，该气动阀由可编程序逻辑控制器控制；所述可编程序逻辑控制器与液位传感器连接；所述液位传感器采样管路包括HF、HNO3和H2O液位传感器采样管路，所述液位传感器采样管路的管口位于洗净槽内；当液位到达液位传感器采样管路的管口位置时，液位传感器闭合，同时给可编程序逻辑控制器信号，可编程序逻辑控制器控制相应气动阀关闭，停止该路液体的供应；所述HF液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为300mm；所述HNO3液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为200mm；所述H2O液位传感器采样管路的管口到洗净槽底部的距离为100mm。