[发明专利]密封装置及密封系统无效
| 申请号： | 201110332641.3 | 申请日： | 2011-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN102425366A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 王丽荣;董金卫;慕晓航;赵星梅;郝永鹏 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | E06B7/16 | 分类号： | E06B7/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100016 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封装置，涉及半导体工艺设备的密封技术领域，该装置包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间，所述充气密封圈包括：充气圈及与所述充气圈形成为一体的固定座，所述充气圈用于密封待密封空间，所述固定座用于固定所述充气密封圈。还公开了一种密封系统，包括上述密封装置和密封门。本发明采用充气密封圈，在密封时消除密封门与门框之间的间隙，得到了良好的密封效果，而且产品使用过程比较稳定，不易破损，结构简单，寿命较长。 | ||
| 搜索关键词： | 密封 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种密封装置，其特征在于，包括：充气密封圈及为所述充气密封圈充气的充气装置，所述充气密封圈用于密封待密封空间。
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