[发明专利]太阳能电池的制造方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的制造方法。提供一第一型基底，其具有一第一表面与一第二表面。使用一第一掺质对第一型基底的第一表面进行一第一掺杂工艺，以形成一第一型淡掺杂层。使用一第二掺质对部分第一型淡掺杂层进行一第二掺杂工艺，以形成一第二型重掺杂区，其中第二掺质的原子量大于第一掺质的原子量，第一掺杂工艺的温度高于第二掺杂工艺的温度。于第二型重掺杂区上形成一第一电极。于第一型基底的第二表面上形成一第二电极。本发明的方法能于淡掺杂层中清楚地定义深度较浅的重掺杂区，使得作为选择性射极的重掺杂区能对电极提供良好的欧姆接触，进而有效地提升太阳能电池中的再结合效率，使得太阳能电池具有较佳的效率。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：提供一第一型基底，其具有一第一表面与一第二表面；使用一第一掺质对该第一型基底的该第一表面进行一第一掺杂工艺，以形成一第一型淡掺杂层；使用一第二掺质对部分该第一型淡掺杂层进行一第二掺杂工艺，以形成一第二型重掺杂区，其中该第二掺质的原子量大于该第一掺质的原子量，该第一掺杂工艺的温度高于该第二掺杂工艺的温度；于该第二型重掺杂区上形成一第一电极；以及于该第一型基底的该第二表面上形成一第二电极。