[发明专利]一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器有效
| 申请号： | 201110335347.8 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN102509816A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;李玲 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贾玉健 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明为一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，包括MEMS开关、T型结、参考移相位共面波导传输线、MEMS电容电感移相传输线、传输线直角转角、MEMS开关电极、引线、隔离电阻及介质衬底；参考移相位共面波导传输线及嵌入MEMS电容电感的移相传输线构成开关线型移相器的两条传输路径；MEMS开关设于T型结上，用于选通两条传输路径；传输线直角转角用于连接两段相互垂直的传输线；本发明的优点是：通过MEMS电容电感构成的相位延迟单元，有效地减小了移相器的整体尺寸；将几个基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器级联，可以得到小型化的基于MEMS电容电感移相单元的多位开关线型移相器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 电容 电感 单元 开关 线型 移相器 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS电容电感移相单元的开关线型移相器，每个移相单元由两个对称的分单元连接组成，其特征在于，每个分单元包括一个T型结(2)，T型结(2)的水平端连接信号的输入输出端(11)，T型结(2)的上端连接第一MEMS开关(101)的触点端，T型结(2)的下端连接第二MEMS开关(102)的触点端，第一MEMS开关(101)的锚点端接MEMS电容电感移相传输线(4)，MEMS电容电感移相传输线(4)的另一端连接第一传输线直角转角(501)，第二MEMS开关(102)的锚点端连接参考移相位共面波导传输线(3)，参考移相位共面波导传输线(3)的另一端连接第二传输线直角转角(502)；两个分单元之间通过第一传输线直角转角(501)和第二传输线直角转角(502)连接；第一MEMS开关电极(801)通过第一隔离电阻(901)与第一引线(701)连接两个分单元的第一MEMS开关(101)的下电极；第二MEMS开关电极(802)通过第二隔离电阻(902)与第二引线(702)连接两个分单元的第二MEMS开关(102)的下电极。
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