[发明专利]MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的有源温度变化补偿控制装置及方法无效
| 申请号： | 201110338354.3 | 申请日： | 2011-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN103064444A | 公开（公告）日： | 2013-04-24 |
| 发明（设计）人： | 郭松 | 申请（专利权）人： | 郭松 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及用MEMS角速度芯片内的有源温度变化补偿控制方法来控制MEMS角速度传感器内的温度，使其保持温度变化的速度在一定的范围之内，从而改善MENS角速度传感器的在不同的温度环境变化时的温度特性，保障MEMS角速度信号输出精度的方法及装置，为发明型专利。通过有源控制温度变化的速度的方式来减小MEMS角速度传感器工作环境的温度变化速度的加大给其输出信号的真实性带来的消极影响的方法。提高MEMS角速度传感器输出信号的精度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 角速度 传感器 温度 稳定 性能 保障 有源 变化 补偿 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的温度恒定的控制方法。是同时监视放置感应角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度，根据放置角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度的温差和加速度感应微小机械的密闭空间内温度变化的速度，内外温度的变化速度及内外传热的量的大小，对放置角加速度感应微小机械的密闭空间加热进行有源控制从而控制其温度变化的速度，使感应角速度的微小机械保持其机械特性不发生激烈变化从而保证MEMS角速度传感器输出精度的方法。
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