[发明专利]一种高透过率光子筛无效
| 申请号： | 201110338648.6 | 申请日： | 2011-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN103091751A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 谢常青;辛将;朱效立;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高透过率光子筛，包括：不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，方形微孔的边长为其所在圆环环带宽度的0.5倍～2.0倍。因为聚焦光斑尺寸相同时，方孔光子筛比普通圆孔光子筛的面积要大，所以在工作光的光强一定，形成相同的聚焦光斑的时候，方孔光子筛可以透过更多的光，提高光的透过率，从而进而提高了聚焦光斑处光的强度，提升了光刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透过 光子 | ||
【主权项】：
一种高透过率光子筛，其特征在于，包括：不透光金属薄膜，所述金属薄膜上设置有多组不同边长的透光方形微孔，每组方形微孔间隔分布在同一圆环上，各组方形微孔所在的圆环为一系列半径不同的同心圆，第m个圆环的半径rm和环带宽度wm满足关系式：rm2＝2mfλ+m2λ2，wm＝rm‑rm‑1，m＝1、2、3...所述λ是入射光波长，所述f是光子筛焦距；并且分布在第m个圆环的方形微孔的边长am满足关系式：am＝0.5wm～2.0wm。
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