[发明专利]放电灯、连接用线缆、光源装置及曝光装置有效

专利信息
申请号: 201110339012.3 申请日: 2008-04-03
公开(公告)号: CN102446669A 公开(公告)日: 2012-05-09
发明(设计)人: 菊池孝幸;北野博 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: H01J5/62 分类号: H01J5/62;H01J5/54;H01J61/52
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李洋;杨林森
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种对放电灯的灯头构件的冷却作用大的光源装置。将电源(32)及送风装置(34)侧的连接器(41)与放电灯(1)的灯头侧连接器(52)利用在电力线缆(33A)内收纳送风用配管(35A)的连结线缆(57)连结。将来自电源(32)的电力经由连结线缆(57)的电力线缆(33A)、灯头侧连接器(52)以及流路折曲构件(51)向灯头部(28)供应,将来自送风装置(28)的冷风经由连结线缆(57)的送风用配管(35A)、灯头侧连接器(52)及流路折曲构件(51)内的送风路向灯头部(28)的槽部(28b)供应。
搜索关键词: 电灯 连接 线缆 光源 装置 曝光
【主权项】:
一种连接用线缆,其用于将在玻璃构件的内部收纳有用于放电的电极的放电灯与所述冷却介质的供应源及电源连结,其特征在于,所述连接用线缆具备:管状构件,其由柔性材料形成,并且具有所述冷却介质的流路;覆盖构件,其由具有导电性的柔性材料形成,并且设置成覆盖所述管状构件,用于从所述电源向所述放电灯供应电力;第一端子构件,其既连结于所述管状构件的一端,又连结于所述覆盖构件的一端,并能够与设置在覆盖所述放电灯的灯头构件的外罩构件上的连接器连接。
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