[发明专利]钽酸钠薄膜紫外光探测器及其制备方法

摘要

本发明属于半导体光电探测技术领域，具体涉及一种以NaTaO3薄膜为基体材料，以Au、Pt或Ni为金属电极的NaTaO3薄膜紫外光探测器及其制备方法。其是在金属钽片上生长一层NaTaO3薄膜，进而通过磁控溅射技术在覆盖有掩膜板的NaTaO3薄膜上溅射一层金属，掩膜板上具有插指电极结构，据此在薄膜上形成金属插指状电极；本发明制备的NaTaO3薄膜紫外光探测器具有制备方法简单，成本低廉，有望大规模生产的特点，对波长220nm-330nm的紫外线具有良好的检测性能。

主权项

一种采用水热合成法制备的NaTaO3薄膜紫外光探测器，其特征在于：从下至上依次由金属钽片(1)衬底，采用水热合成法在金属钽片上生长的NaTaO3薄膜(2)，在NaTaO3薄膜上采用磁控溅射法制备的Au、Pt或Ni金属插指电极(3)组成，待探测的紫外光(4)从金属插指电极(3)的上方入射。