[发明专利]成膜装置和成膜方法无效
| 申请号： | 201110339521.6 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102465263A | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 中川善之;中野真吾;福田直人 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 钱亚卓 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置和成膜方法。成膜装置(1)包括成膜源(21)、测量用石英振荡器(22)和校正用石英振荡器(23)。当在成膜对象物(30)上形成成膜材料的薄膜时，在成膜源(21)内加热成膜材料以释放出该成膜材料的蒸气。测量用石英振荡器(22)测量形成在成膜对象物(30)上的成膜材料量，而校正用石英振荡器(23)校正测量用石英振荡器(22)。在成膜装置(1)中，还设置用于相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动成膜源(21)的移动部(成膜源单元(20))，该移动部保持测量用石英振荡器(22)，以维持其相对于成膜源(21)的相对位置，且当移动部处于成膜待机位置时，校正用石英振荡器(23)设在移动部的上方。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种成膜装置，包括：蒸发源，用于加热成膜材料以及用于释放出所述成膜材料的蒸气；移动部，用于使所述蒸发源相对于成膜对象物在预定成膜待机位置与预定成膜位置之间移动；测量用石英振荡器，用于测量形成在所述成膜对象物上的所述成膜材料的量；以及校正用石英振荡器，用于校正利用所述测量用石英振荡器测得的所述成膜材料的量，其中，所述测量用石英振荡器设在所述移动部内，所述校正用石英振荡器设在所述移动部的所述预定成膜待机位置的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110339521.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：送风风扇
- 下一篇：单链cDNA合成、微阵列用样品制备及核酸检测的方法
- 同类专利
- 专利分类
