[发明专利]一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器无效
| 申请号： | 201110341470.0 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102435778A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 刘妤;王国超;米林;郭长文 | 申请（专利权）人： | 重庆理工大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 张先芸 |
| 地址： | 400054 重*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带法-珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器，包括衬底、筒状结构的固定支撑、苜蓿叶形状的惯性质量块和谐振微梁；惯性质量块通过对称设置的四个谐振微梁悬挂于固定支撑的中部，并位于衬底的正上方；谐振微梁与衬底之间构成高精度的法布里-珀罗谐振腔。该传感器整体呈对称微结构，确保在两个检测方向灵敏度一致；能在有限体积下实现较大的敏感质量；能在相同面积内制作出相对较长的谐振微梁；传感器直接输出频率信号，处理电路简化；频率信号具有高的抗干扰能力和稳定性；使用单个非调制光源完成激励，减小了系统的复杂性，提高了可靠性；激励源与振动元件之间无机械接触，灵敏度高、精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 谐振 二维 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种带法‑珀腔结构的硅微自谐振二维加速度传感器，其特征在于：包括衬底（1）、固定支撑（2）、惯性质量块（3）和谐振微梁（5）；所述固定支撑（2）为筒状结构，固定支撑（2）的底端固定在衬底（1）上；所述惯性质量块（3）为苜蓿叶形状，惯性质量块（3）通过四周凹腔内分别设置的、呈对称结构的谐振微梁（5）悬挂于固定支撑（2）的中部，并位于衬底（1）的正上方；所述谐振微梁（5）通过固定支撑（2）与衬底（1）欧姆接触；所述谐振微梁（5）与衬底（1）之间构成高精度的法布里‑珀罗谐振腔（4）。
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