[发明专利]利用连续横向固化的结晶设备有效
| 申请号： | 201110342540.4 | 申请日： | 2011-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN102560619A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 朴喆镐 | 申请（专利权）人： | 三星移动显示器株式会社 |
| 主分类号： | C30B13/22 | 分类号： | C30B13/22 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 罗正云;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种利用连续横向固化(SLS)的结晶设备，在基板上执行结晶，所述结晶设备包括：激光产生装置，用于发射激光束；第一望远镜透镜模块和第二望远镜透镜模块，位于所述激光产生装置的一侧处，用于最小化所述激光产生装置所发射的激光束的发散角；以及主光学系统，位于所述第二望远镜透镜模块的一侧处，用于均匀化并放大透过所述第二望远镜透镜模块的激光束。所述主光学系统相对于所述激光产生装置可旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 连续 横向 固化 结晶 设备 | ||
【主权项】：
一种结晶设备，利用连续横向固化方法在基板上执行结晶，所述结晶设备包括：激光产生装置，用于发射激光束；第一望远镜透镜模块和第二望远镜透镜模块，位于所述激光产生装置的一侧处，用于最小化所述激光产生装置所发射的激光束的发散角；以及主光学系统，位于所述第二望远镜透镜模块的一侧处，用于均匀化并放大透过所述第二望远镜透镜模块的激光束，其中所述主光学系统相对于所述激光产生装置能旋转。
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