[发明专利]一种晶体硅铸锭炉有效
申请号: | 201110346536.5 | 申请日: | 2011-11-04 |
公开(公告)号: | CN102383183A | 公开(公告)日: | 2012-03-21 |
发明(设计)人: | 戴煜;羊建高;谭兴龙 | 申请(专利权)人: | 湖南顶立科技有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 逯长明 |
地址: | 410118 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种晶体硅铸锭炉,所述铸锭炉包括:炉体;设置在所述炉体内的坩埚;位于所述坩埚底部下方的坩埚底板,所述坩埚底板上设置有贯穿坩埚底板的多个导流孔;位于所述坩埚底板下方的冷却块,所述冷却块设置有至少一个导流槽;设置于所述冷却块下方的导流管,所述导流槽连通所述导流孔和所述导流管;所述导流管的腔道上端靠近冷却块位置设置有硅液溢流检测丝,所述检测丝连接所述铸锭炉外部的硅液溢流控制装置。本发明所述技术方案可及时检测并处理硅液溢流问题;同时,硅液溢流路径单一、可控制、污染面积小,安全性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体 铸锭 | ||
【主权项】:
一种晶体硅铸锭炉,其特征在于,包括:炉体;设置在所述炉体内的坩埚;位于所述坩埚底部下方的坩埚底板,所述坩埚底板上设置有贯穿坩埚底板的多个导流孔;位于所述坩埚底板下方的冷却块,所述冷却块设置有至少一个导流槽;设置于所述冷却块下方的导流管,所述导流槽连通所述导流孔和所述导流管;所述导流管的腔道上端靠近冷却块位置设置有硅液溢流检测丝,所述检测丝连接所述铸锭炉外部的硅液溢流控制装置。
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